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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8屏幕尺寸晶圆制造线生活设施的超纯净水操作系统,每天都在带来含硅生产废水150吨。生产废水下虽无巨资属,但硅分量高易水垢,且电阻值率需实现18MΩ·cm这样才能使用。和原有处置加工难以考虑新颁行的《光学工业生产水造成的环境有害特性减排口原则》(GB39731-2020)非常减排口规定值。 生产废水化学物质性能 主耍水废弃物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗料硅(颗粒直径0.1-1μm) 特出请求 :TOC<10μg/L,硼含量<5μg/L 水体优点 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机化合物特性更复杂 治理鑫霖环保程序 特色化主要包括"梯级膜离心分离+电去阳离子"组装工艺设备: 微滤预净化处理 :1μm淘瓷膜拦阻大颗粒肥料硅,通量持续80LMH 亚铁离子交流树脂材料 :D201大孔树脂胶选用性吸收硅酸碳原子 一级RO控制系统 :首先段回收分类处理率60%,二、段主要采用高脱硼膜组件 EDI电去阴离子 :电流大小比热容2A/m²,维持我们要除残存铝离子 紫外光消毒杀菌 :254nm太阳光的紫外线标准容量40mJ/cm² 技术设备成效 開發特用阻硅剂(可挥发胺类塑料物),延迟膜环境污染周期长3倍 EDI接口创新发展流道设定,硅删去率加快至99.8% 百度在线硅讲解仪(测量方法範圍0.1-500μg/L)实现目标精准定位控住 自动运行功效 经最后方在线检测: 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L低于0.3μg/L 模式回收利用率从原40%不断提升至68% 膜根换周期性延后至5年,年运营成本投入降35%

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