广州某半导心片制作业厂，晶圆生产时中有含硅、氟的专项 焦化废气，结构设计正确进行处理建设规模1200吨/日。焦化废气成分表更复杂，有效微米级硅颗粒肥料及盐酸，过去的正确进行处理形式不好合格。 污废水 的成分及渠道 主要弄脏物 ：电解质溶液硅（100-500nm颗粒直径）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 收入生产工艺 ：晶圆刻蚀焦化废水处理工艺（45%）、CMP药剂学自动化拋光焦化废水处理工艺（40%）、机器设备擦拭水（15%） 整理工艺技术过程 不断创新应用"耐腐蚀悠长岁月中+重型膜分割"科技交通路线： 钙盐水解 ：加药氯化钙洗去氟阴离子（自动生成CaF2沉淀出的） 斜板沉淀池想法 ：挽回二沉池剂保证电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挪用微细粒状 反加入平台 ：脱盐率>98%，回笼率75% 蒸馏心得 ：浓水段建立氟化物无废气排放出 结果英文作用 氟化物渗透压：<8mg/L（降至国家地区二级准则10mg/L） 硅含量：<5mg/L 水环境资源中水回用率：70%用在冷去塔补充水分 危险废物减轻药量：蒸馏渣子量较传统化工艺设计以减少60%