某光电器件研制工厂因晶圆清晰生产工艺生产含氨污水，需水量200吨/天。污一般的水都除化学需氧量外还所含氟化物和轻微血本属，处理一定难度大。当地城市尾气排放基准需求化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理化学成分及原因 晶圆清洁工作污水（具体源头）：含氟化物200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀程序焦化废水：含轻微铜、镍等巨资属，pH值震荡大 CMP碾磨废水处理工艺：含硅粒状及氟化物 处置制作工艺注意事项 采用了"化学物质奠定+膜剥离 +折点氯化"搭档生产工艺： 预处里 ：加药CaCl2除氟，抑制pH在7.5-8. 超滤膜系统化 ：消除0.01μm上面的粒子物 ro反渗透性果汁 ：将氟化物提液至1000mg/L左右 折点氯化 ：准确把握氯加药量，将挥发酚有效的转化为N2 化合物对换 ：安全保障天价属标准 最终能够功效 氯离子稳定可靠＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属浓度压低检侧限 水回收率达75% 飞灰存在量以减少40%