某半导体技术心片生产加工制作厂在晶圆生产加工过程中中，在使用硅烷开始硅本质生张，废气排放洗滌塔生成高溶度含硅废液。废液更具pH下降大（2-11）、硅含量高的特质，一般正确处理方式易发生硅垢短路状况。 废渣组成成分及渠道 化工废水主要的组成为： 容解性硅酸盐 ：SiO₂密度达1000-1500mg/L 氢氧化反应钠/氢氧化反应钠 ：干洗塔酸性干洗液杂质 小粒硅 ：納米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 ：奶茶原料残渣进入 清理工艺步奏步奏 的创新按照"有级结合+膜过滤装置+蒸发器晶体"工序： 考试内容一级采和 ：用CaO控制pH至4-5，导出硅酸钙积累，硅弄掉率60%。 二次中合 ：加Na₂CO₃将pH升降至9，进十步放置余量硅，并接用镁剂除砷。 反渗透装置整体 ：0.02μm陶瓷制品膜油烟净化器奈米级硅颗粒物，通量不稳在80LMH。 MVR多效冷却器 ：浓缩咖啡高盐废渣，晶体出Na₂SO₄副软件，水使用率超90%。 最终能够实际效果 总硅从1500mg/L高于5mg/L以內 砷量从0.8mg/L减至0.01mg/L 系统化无结渣启动达到2年 常年回收利用硫酸钠钠结晶体约800吨