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南京某半导体行业厂生产加工期间中直接生成高硅生产化工工业废水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟生产化工工业废水(F⁻ 200-300mg/L)。俩种生产化工工业废水搅拌后容易建成氟硅酸溶液,傳統化学沉积法其特性很难比较稳定及格。好项目规定同样取除硅和氟(排放口要求:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废气成份及收入
主耍组分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
來源
:晶圆刻蚀污废水 处理方法、CMP磨研污废水 处理方法、机清洁水
外理技艺程序流程
融合水解时段
:
两极想法池
:
第二级加药Ca(OH)₂转化CaF₂和CaSiO₃析出;
第二名级加药系统PAC(配位聚铝)升星二沉池。
固液剥离 步骤
:
超滤膜系统
:适用0.02μm孔经膜零件挪用氢氧化铁硅和微细水解物。
角度脱氟过程
:
可溶性脱色铝吸咐塔
:残余物氟阴离子气体吸附清掉。
决定疗效
溢水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远具有国内规范标准。
反渗透膜系統通量动态平衡在15LMH,化学式家电清洗周期长延后至60天。
工业废水经压滤后含水分率<65%,可按大部分固体废物妥善处理。