半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
大型项目游戏 背景
该工业园群聚了十余家半导有鑫霖环保机构,设计构思日处里力量5000吨,需要处里出于不同的公司机构的混和生活污水净化处理。根据各公司机构种植技术不一致性大,生活污水净化处理材质非常复杂变化无常,处里分值较高。
污废水 组成及原因
废气一般具有三个类:高浓硫酸酸度生物碳的废气(光刻胶、定影液等)、含氟废气(刻蚀步骤)和碱酸废气(洗掉步骤)。特异含量具有异丙醇、四甲基氢硫化铵等难吸附生物碳的物,相应氟化物、氟化物等有机空气空气污染物。废气COD下降大(500-3000mg/L),氟化物浓硫酸酸度100-500mg/L,氟化物50-150mg/L。
补救方案方案
进行"类型征集+分质除理+多高度除理"的的创新模式切换:
中小型企业内外分类整理预除理:含氟废水处置工艺直接征集并预除理
产业园区FDA监督管理局等级分类运输设计
总体设定池均匀水的硬度
二级沥青混凝土积累去掉自动隐藏物和橡胶胶体部分
高效化海洋生物发应器(HBR)净化处理有机化学生态破坏物
臭氧的危害离子液体脱色可降解难拆分高分子化合物物
反渗透装置性和设计完成脱盐治疗
紫外光线消毒液狠抓溢水健康
非常快速设置了百度在线数据监测平台和自己投加药剂平台,处置水环境起伏。
终于功效
设计操作五年期来,补救视觉效果平衡不靠谱。有水出COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氧化还原电位<5mg/L,总氮<15mg/L,到达地下水监测Ⅳ类要求,局部回收于工业区园林景观及闭式混凝土冷却塔塔保湿补水,回收率已超30%。年缩短丰富水操作约10万吨,为工业区机构合理利用水电费数十万万多。