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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

工程项目蓝本 某中型半导体材料制做客户的应用于长四角区县,重要所产生晶圆和电源芯片。在所产生一阶段中,晶圆激光切割和打蜡 一阶段所产生丰富精磨液工业废水,日访问量尾气占有量上涨约50吨。可能工业废泥里含有高密度悬屏物、废金属阴阳离子及有机肥料增多剂,会直接尾气进行排放会对环镜会导致非常严重弄脏,客户的急需要基础建设职业治理 配制。 生活污水成分表及种类 碾磨液污水注意源头于晶圆代加工中的化工自动化设备打磨(CMP)工艺程序,注意空气污渍属于: 悬停粉末物 :二阳极氧化的硅、阳极氧化的铝等考虑颗粒状,粒级在0.1-1μm,酸度高达到2000mg/L。 金属材料阴阳离子 :铜、铁、锌等,产于抛光剂垫划痕及晶圆面复合层,铜铁离子酸度约50mg/L。 有机会增加剂 :还有从表面吸附性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 碱酸性物料 :pH值价格波动大,通常情况下在2-11之間。 办理施工工艺注意事项 对污水性,运用“预外理+生化模式+广度外理”组合起来工艺技术: 可以调节池 :平均水的硬度需水量,加酸性调高pH至一般的中性。 混泥土水解 :污泥脱水PAC(整合氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),取除悬停物和橡胶胶体部分,沉降后SS取除率>90%。 促使氧化反应 :利用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)化学降解有机会填加剂,COD去掉率达60%。 菌物补救 :MBR膜生态学反应迟钝器切实骤溶解已用可挥发物,COD降低100mg/L下述。 铁离子交易 :转用硅橡胶粘附铜阴离子,出液铜水平<0.5mg/L。 砂滤+活性酶类炭滤出 :切实保障出水量澄澈,达成《工业废水融合直接排放要求》(GB8978-1996)三级要求。 不可能疗效 程序运转比较稳定后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。 中水回用率达40%,结余不合格直接排放标准,年才能减少废水处理直接排放标准1.10万吨。 操作成本费用约15元/吨,远不低于服务业人均。

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